第一千六百六十七章 光刻胶的国产突围 （1 / 2）

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“炉温到一百八十，别急着升。”

伊万站在哈尔滨研发中心的炉门旁，手里夹着一块沾满树脂的玻璃片，脸上两天没刮的胡茬扎在灯光下，眼睛盯着记录表，没有去管身后谁在走动。

陈守仁握着秒表。

“第一组胶层已经排气，温度继续上升。”

“继续。”

高桥把一张曲线图推到他面前。

“二百六十度后会起泡。”

“你看过结果？”

“我看过配方。”

“配方不会说话，炉子才会。”

“这一炉用的是松菱原料。”

“你怀疑我的比例？”

高桥把笔搁在桌边。

“我怀疑溶剂。”

方志远从控制台旁抬头。

“二号传感器比三号低了七度，程序已经补偿。”

伊万回头看他。

“别补偿。”

“温度会偏。”

“传感器偏，炉温没偏，程序一补，胶层会提前失水。”

“你确定？”

“你要是不信，等它把晶圆烧黑。”

陈守仁抬手。

“停一秒，先把二号探头换掉。”

“换探头会耽误升温。”

“换探头能知道炉子究竟烧到哪儿。”

伊万把玻璃片贴到灯下。

“你们中国人做材料，胆子小。”

陈守仁把工具箱拉到身边。

“你们苏联人做实验，设备少。”

“设备少，所以每一台都得听话。”

“设备听不听话，取决于谁在操作。”

高桥把手套摘下来，扔到桌上。

“你们要吵出去吵，炉里的片子再撑三十秒就废。”

李山河推门进来，手里带着一只搪瓷缸。

“谁要吵？”

陈守仁转身。

“伊万说高桥配的溶剂会让胶层起泡。”

高桥接话。

“我说他的树脂比例太激进。”

伊万指着炉门。

“这批片子一旦开炉，先看胶层，别看你们的脸。”

彪子跟在李山河身后，抱着两袋面包。

“俺给你们送饭，谁饿了先吃，别把肚子饿坏了拿炉子撒气。”

伊万接过面包，看了看包装。

“里面是什么？”

“列巴。”

“我要二锅头。”

“白天没有。”

“那我不吃。”

李山河把搪瓷缸放到他手边。

“这是热水。”

伊万抬眼。

“你答应过每天一瓶。”

“你昨天喝了两瓶。”

“昨天是昨天。”

“今天你把第一组跑完，晚上给你一瓶。”

伊万指着炉子。

“我要两瓶。”

“合格一瓶，失败半瓶。”

“你把酒当奖励？”

“你把材料当命，我把酒当成本。”

彪子咧嘴。

“二叔，俺咋觉着你俩谈得挺投机。”

李山河看了他一眼。

“你去食堂，把孟老的药膳饮品送给夜班工人。”

“俺也去看芯片。”

“你看不懂。”

“俺看它黑不黑，总能看懂。”

“那你去看黑不黑。”

彪子抱着面包走了，嘴里还在嘀咕。

炉内曲线升到二百四十度，记录笔在纸上划出一条弯线，胶层边缘没有起泡，陈守仁把脸凑近观察窗。

“边缘还在。”

伊万伸手。

“把样片取出来。”

“还没到冷却阶段。”

“取一片。”

高桥用夹具取出样片，放在金属台上，伊万拿起放大镜，刮了一下胶层。

“附着力不够。”

陈守仁接过样片。

“线路没断。”

“冷却后会裂。”

高桥拿起玻璃片折了折。

“裂纹在边缘。”

“那就是溶剂挥发太快。”

“你刚才还说溶剂没问题。”

“我现在改主意了。”

陈守仁把样片递给方志远。

“记录，第一组失败，树脂合格，溶剂比例需要调整。”

伊万看向他。

“你说失败？”

“裂了就是失败。”

“线路还通着。”

“芯片要在设备里跑半年，不是让你拿着样片看半天。”

伊万把玻璃片放下。

“再做。”

“材料只够三组。”

“那就做三组。”

李山河接过记录表。

“材料不够，我已经让宋子文从港岛调一批树脂。”

高桥抬头。

“日本供应商不会发货。”

“没让日本人发。”

“从哪里来？”

“乌法。”

伊万拿过电报纸。

“乌法的军用涂层研究所？”

“谢尔盖耶夫已经把人叫起来了，材料今晚发车。”

“他们没有做过光刻胶。”

“他们做过高温涂层。”

“用途不同。”

“所以才让你们三个一起做。”

陈守仁看着李山河。

“李总，半个月够吗？”

“你要多久？”

“如果材料稳定，三天能出小样，十天能跑封装，半个月能知道能不能量产。”

“那就半个月。”

高桥皱着眉。

“我们每天只睡四个小时。”

“你们每天睡六个小时，剩下时间炉子也不能停。”

伊万抓起记录表。

“我睡三个小时。”

陈守仁抬头。

“没人要求你学牲口。”

“牲口不用做实验。”

“人也不能一直不睡。”

李山河敲了敲桌面。

“每十二小时换班，谁擅自熬夜，第二天停工。”

伊万把表格揉成一团。

“我不接受。”

“那你回北风三号。”

“你赶我？”

“哈尔滨有规矩。”

“规矩会让材料变好吗？”

“规矩能让你活着看到材料变好。”

伊万望着他。

“你和那些官员不一样。”

“少夸我。”

“我没夸你，我在判断。”

“判断完了就去改配方。”

第一周过去，三组材料全部失败。

第一组冷却后裂纹密布，第二组升温时起泡，第三组附着力合格，线路却在二百九十度时断开。

陈守仁把检测报告拍在桌上。

“胶层能撑，线路撑不住，载体材料膨胀系数不匹配。”

高桥接过报告。

“问题回到晶圆底材。”

伊万把一只螺丝拧进反应釜外壳。

“把树脂再改硬，胶层会更脆。”

方志远在黑板上写下几组温度数值。

“控制程序可以把升温分成六段，降低热冲击。”

“程序能调热，调不了材料。”